1.故障現象：芯部溫度升溫慢

原因分析：工作室內運風不正常，熱風無法吹出；電池堆放過多，堵住熱風循環；內發熱絲壞。

解決辦法：拆開工作室隔板，檢查是否風扇損壞；常壓情況下，用手持式溫控儀檢查腔內溫度是否與芯部探測一致；測量發熱絲阻值，檢查是否發熱絲損壞。

2.故障現象：主控溫度頻繁報警

原因分析：主控溫度報警值設置過低，在充氮氣時溫度超過報警溫度；芯部探頭沒有校正，與實際溫度有偏差；外加熱溫控補償值太高，PID設置不準確；探頭異常。

解決辦法：在真空環境下充氮氣，會導致溫度短暫升高，幾分鐘后會回落；常壓情況下，用手持式溫控儀檢查腔內溫度是否與芯部探測一致；適當將外主控溫控表的參數“PD”值設為正數，降溫后重新加溫，可以降低外加熱的補償量；檢查是否探頭失真，更換探頭。

3.故障現象：循環進行中真空報警

原因分析：腔體或其它機臺腔體有漏真空現象；有腔體一直“真空發出暫停信號”。

解決辦法：首先停止本腔體的真空運行，檢查是否有真空泄漏；排查其它腔體泄漏可能性。

4.故障現象：循環進行中低溫報警

原因分析：外加熱系統中運行異常，可能風機損壞，或發熱絲有損壞；內加熱風機或發熱絲損壞；

解決辦法：檢查內外加熱系統，檢查風機運轉是否正常；檢查內外發熱絲是否有損壞；檢查電壓是否有缺相或接觸器損壞。

5.故障現象：內風扇2A小型斷路器跳閘

原因分析：風扇有燒壞；風扇卡死。

解決辦法：檢查風扇是否卡死，更換風扇。

6.故障現象：外發熱包干燒報警

原因分析：外風機損壞；溫控表設置溫度過低；

解決辦法：檢查風機是否損壞；將溫控表的報警值適當調整到合適。